(주)아텍

광섬유 및 반도체 생산에 필요한 다양한 Gas을 최대한 안전하고, 안정적으로 공급하기 위한 설비

Jungle box : 메인설비 Chamber 내로 Gag를 필요양만큼 일정 압력으로 공급해주는 장비

반도체 제조 환경에 맞추어 분석 장치들을 집중화 및 간소화 시켜 각종의 데이터를 원격 수신함으로써 사용 가스의 품질과 요소들을 쉽고 빠르게 파악하는 시스템

반도체, 광섬유 등의 Clean Room 내에 설치되는 각각의 설비에 필요한 Gas 공급 라인을 Main 에서 부터 Client 까지 연결 해 주는 것

특수가스 배관은 가스의 고순도를 유지하면서 누출 없이 안전하게 설비까지 공급하는 것을 목적으로 함

생산공정 별 Gas 사용에 따라서 공장 내의 Gas Room 을 별도로 마련하여 Supply Unit으로 부터 생산 설비까지 GAS 공급

충전장 (Gas Filling Station):
특정 Gas 를 충진 시 원하는 양 만큼 정밀 제어 설비 등을 통하여 충진 하는 System을 말하며, 충진 시 요구 되는 여러 안전 요소 등을 고려하여 제작 구성

분석실 (Gas Analysis Center):
Ton-Container 에서 각각의 Cylinder로 분기 충진 시, 거치는 공정에 의한 배관라인의 오염 등을 알아보기 위하여 옮겨 담는 가스의 농도 및 품질을
비교 분석 하는 공간