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토탈 가스 솔루션
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1. High Purity Gas Plant

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2. 대용량 공급 장치

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3. Gas 공급 System

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4 .GMS
(Gas Management System)

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5. Special Pipe Work

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6. VMB(P) & Jungle Box

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7. 3rd Pipe Work

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8. Clean Room & Utility

토탈 가스 솔루션 소개
1. Gas Supply System (Gas Cabinet, Gas rack, VMB & VMP) & Jungle Box

광섬유 및 반도체 생산에 필요한 다양한 Gas을 최대한 안전하고, 안정적으로 공급하기 위한 설비

Jungle box : 메인설비 Chamber 내로 Gag를 필요양만큼 일정 압력으로 공급해주는 장비

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2. Gas Analysis System, Gas Purifier System & Gas Monitoring System

반도체 제조 환경에 맞추어 분석 장치들을 집중화 및 간소화 시켜 각종의 데이터를 원격 수신함으로써 사용 가스의 품질과 요소들을 쉽고 빠르게 파악하는 시스템

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3. UHP (Ultra High Purity) Utility System

반도체, 광섬유 등의 Clean Room 내에 설치되는 각각의 설비에 필요한 Gas 공급 라인을 Main 에서 부터 Client 까지 연결 해 주는 것

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4. Piping Work for Special Gas or Chemical

특수가스 배관은 가스의 고순도를 유지하면서 누출 없이 안전하게 설비까지 공급하는 것을 목적으로 함

생산공정 별 Gas 사용에 따라서 공장 내의 Gas Room 을 별도로 마련하여 Supply Unit으로 부터 생산 설비까지 GAS 공급

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5. Gas Filling Station & Gas Analysis Center

충전장 (Gas Filling Station):
특정 Gas 를 충진 시 원하는 양 만큼 정밀 제어 설비 등을 통하여 충진 하는 System을 말하며, 충진 시 요구 되는 여러 안전 요소 등을 고려하여 제작 구성

분석실 (Gas Analysis Center):
Ton-Container 에서 각각의 Cylinder로 분기 충진 시, 거치는 공정에 의한 배관라인의 오염 등을 알아보기 위하여 옮겨 담는 가스의 농도 및 품질을
비교 분석 하는 공간

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